半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備用壓力調(diào)整器

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備用壓力調(diào)整器

產(chǎn)品型號: S-TORRⅤ2300

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備用壓力調(diào)整器
TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
出貨檢驗(yàn)：包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進(jìn)行，保證產(chǎn)品的高純度和潔凈度

半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備用壓力調(diào)整器 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備用壓力調(diào)整器

TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
出貨檢驗(yàn)：包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進(jìn)行，保證產(chǎn)品的高純度和潔凈度。
大流量機(jī)型：TORR-3300系列為一次高壓用大流量機(jī)型，最大220m3/h（nor）供應(yīng)可能。
材質(zhì)：使用材質(zhì)接觸氣體部主體為SUS316，隔膜為氯羅普鎢橡膠（氣體接觸面、特氟龍蓋），壓力表為SUS316L，接頭為SUS316，氟樹脂，非接觸氣體部蓋子為C3604。
性能參數(shù)：入口側(cè)最高使用壓為20MPa，出口側(cè)最高使用壓為1.0MPa，最大流量為220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用溫度為-5～40°C，重量為14kg。過濾器未裝入，請另行設(shè)置。外部泄漏量為1.3×10-6Pa m3/sec以下。
二次側(cè)微壓控制：TORR-L系列是可控制二次側(cè)微壓的調(diào)整器。

TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
出貨檢驗(yàn)：包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進(jìn)行，保證產(chǎn)品的高純度和潔凈度。
大流量機(jī)型：TORR-3300系列為一次高壓用大流量機(jī)型，最大220m3/h（nor）供應(yīng)可能。
材質(zhì)：使用材質(zhì)接觸氣體部主體為SUS316，隔膜為氯羅普鎢橡膠（氣體接觸面、特氟龍蓋），壓力表為SUS316L，接頭為SUS316，氟樹脂，非接觸氣體部蓋子為C3604。
性能參數(shù)：入口側(cè)最高使用壓為20MPa，出口側(cè)最高使用壓為1.0MPa，最大流量為220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用溫度為-5～40°C，重量為14kg。過濾器未裝入，請另行設(shè)置。外部泄漏量為1.3×10-6Pa m3/sec以下。
二次側(cè)微壓控制：TORR-L系列是可控制二次側(cè)微壓的調(diào)整器。

TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
出貨檢驗(yàn)：包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進(jìn)行，保證產(chǎn)品的高純度和潔凈度。
大流量機(jī)型：TORR-3300系列為一次高壓用大流量機(jī)型，最大220m3/h（nor）供應(yīng)可能。
材質(zhì)：使用材質(zhì)接觸氣體部主體為SUS316，隔膜為氯羅普鎢橡膠（氣體接觸面、特氟龍蓋），壓力表為SUS316L，接頭為SUS316，氟樹脂，非接觸氣體部蓋子為C3604
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性能參數(shù)：入口側(cè)最高使用壓為20MPa，出口側(cè)最高使用壓為1.0MPa，最大流量為220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用溫度為-5～40°C，重量為14kg。過濾器未裝入，請另行設(shè)置。外部泄漏量為1.3×10-6Pa m3/sec以下。
二次側(cè)微壓控制：TORR-L系列是可控制二次側(cè)微壓的調(diào)整器。