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    技術(shù)文章

    日本Atmax二流體噴嘴在半導(dǎo)體的應(yīng)用

    日本Atmax二流體噴嘴  AM6/AM12

    通過從極少量開始精確噴涂,可以獲得平均粒徑約為5μm的超細(xì)顆粒。它是一個(gè)非常小的噴嘴,可以使用20 至750瓦的空氣壓縮機(jī)進(jìn)行操作。主要用途是表面薄膜涂層,科學(xué)

    和醫(yī)療領(lǐng)域的極少量噴涂,室內(nèi)和設(shè)施的殺菌消毒。

    主要應(yīng)用包括在半導(dǎo)體晶圓上的精密噴涂,在電子零件和功能零件材料的制造過程中進(jìn)行極少量的噴涂、噴涂和涂覆 精密涂層由于可以霧化和噴射少量液體,因此可以在半導(dǎo)體和電子元件制造過程中通過噴涂形成薄膜。

    與其他噴涂系統(tǒng)相比,噴涂工藝易于控制,設(shè)備配置也很簡單。它的特點(diǎn)是使用一個(gè)噴嘴的條件范圍很廣,從厚涂層到薄膜。

    精密設(shè)備清洗

    尖銳的粒度分布使其適用于需要度的清潔。與常規(guī)噴嘴相比,Atmax噴嘴霧化所需的沖擊流速較小,因此沖擊力小且射流流速適中。

    使用特的液體劑進(jìn)行涂層工作

    有兩個(gè)主要組成部分。標(biāo)準(zhǔn)噴嘴材料是SUS316L,因?yàn)樗欠浅:唵蔚慕M件結(jié)構(gòu),但是可以使用與使用環(huán)境相匹配的材料進(jìn)行制造。另外,在液體接觸部分中不使用O形圈。

    使用細(xì)顆粒的加工工作

    可以容易地連續(xù)注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化,從小孔口噴射是通常的理論,但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴射。



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