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    技術文章
    
        
    
          
    
            
            
    適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機
    
            
    
              
                
    適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機SC-708系列

    特征
    • 大型基板全鍍膜的離子濺射設備
    • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。
    • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時支持 PDMS 表面處理
    • 配備鍍膜模式/蝕刻模式


    應用/結果示例
    • 適用于各種設備的電極膜附件
    • 反光膜制作應用
    • 樣品表面親水化處理應用（蝕刻方式）
    • PDMS表面處理應用（蝕刻模式）等


    基本規(guī)格
    陰極φ4-8英寸/2極對向電極
    濺射電流
    蝕刻電流    		0-50mA（包括電流表）
    濺射電壓
    蝕刻電壓    		0.8 / 1.4kV
    氣體引入機制針閥
    真空泵直聯(lián)回轉泵：100l/min（帶自動漏氣）
    腔室尺寸內徑φ240mm x D240mm（SUS制）
    樣品交換方式前門開閉式
    樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
    尺寸（寬/深/高）主體：282/450 / 440mm
    RP：460/175 / 265mm
    重量身體：約20kg
    RP：23kg




    特殊規(guī)格示例
    SC-704AT
    SC-704AT
    膜厚可控全自動機型
    		SC-704MC
    SC-704MC
    磁控陰極采用型號
    （無蝕刻/交流濺射功能）


    
                
                  
            
    
          
    
        
    
      
    
      
    


    
       
    
          
         
         
        
    
        
      
    
              
  
  
    
    
    
      
    
    
  
    
  
  
    
    
    
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